全新静电消散(ESD)系统在减少缺陷和降低成品率损失的同时，提高安全性。

马萨诸塞州比尔里卡--(美国商业资讯)--面向半导体及其他高科技行业的先进材料和工艺解决方案领域的一流供应商Entegris, Inc.今日宣布推出独特的流体管理系统，该系统可消除对于当今先进技术芯片制造不可或缺的化学品输送系统中的静电电荷。

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过去，不锈钢流体管理系统常用于输送半导体制造中使用的溶剂及其他易燃化学品，现在则无法满足当今对超低金属杂质日益增长的需求。为此，先进技术芯片的制造商正逐步从不锈钢系统转向含氟聚合物(PFA)系统。尽管PFA系统可减少不锈钢系统造成的金属污染，但由于PFA是一种非导电的电绝缘体，因此它们带来了与静电放电相关的新挑战。

Entegris先进材料处理(AMH)部流体管理副总裁Brett Reichow表示：“流经化学品输送系统的流体中存在的静电电荷积聚不仅会因静电放电事件损害系统中的流体处理组件，而且可能导致硅晶片缺陷。静电放电还会在半导体制造过程中造成不安全的状况。”

Entegris使用新材料开发了一款解决方案，经证明，该解决方案可以成功减少流经管道的流体中积聚的静电电荷，以及管道外可能积聚的任何电荷。Reichow表示：“Entegris创新系统的PFA管道内部具有导电条，而且管接头由导电PFA制成，因此当密封区域接触导电条时，管接头可以接地。”

AMH部高级副总裁Bill Shaner表示，Entegris为高纯度处理市场提供创新的连接技术逾30年，得益于此，其开发了ESD解决方案，同时该解决方案可提高安全性和减少潜在缺陷。“我们已使用自身专有的制造设备和工艺来共挤出超纯PFA和导电PFA，以形成单一层。这种独特的PFA构造可降低金属污染，消除分层风险和潜在的包封区域，从而保持高化学纯度。这款新的解决方案可降低安全风险，并使财产损失的风险降至最低。此外，由于管是半透明的，因此可以目视检查流经系统的流体。”

Entegris针对新系统进行的金属提取测试的结果表明，该系统可保持与标准PFA管相似的纯度。另外，第三方测试公司也证实了新系统的接地性能令人满意。

Shaner表示：“Entegris专利申请中的全新ESD系统是又一项重大创新，旨在帮助微电子行业继续朝着更清洁的化学品输送系统发展，进而满足先进工艺节点的需求。”

关于Entegris

Entegris是面向微电子和其他高科技行业的特种化学品和先进材料解决方案领域的领导者。Entegris是面向半导体及其他高科技行业的先进材料和工艺解决方案领域的一流供应商。Entegris在全球拥有约5300名员工，并已通过ISO 9001认证。公司在美国、加拿大、中国大陆、法国、德国、以色列、日本、马来西亚、新加坡、韩国和台湾设有制造工厂、客户服务中心和/或研究基地。